离子铣
基本解释
简解
离子铣的词语属性
拼音lí zǐ xǐ
拼音字母li zi xi
拼音首字母lzx
离子铣的百科含义
离子铣，也称为离子束刻蚀（IBE），是具有强方向性等离子体的一种物理刻蚀机理。它能对小尺寸图形产生各向异性刻蚀。
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