光掩膜
基本解释
简解
光掩膜的词语属性
拼音guāng yǎn mó
拼音字母guang yan mo
拼音首字母gym
光掩膜的百科含义
在半导体制造的整个流程中，其中一部分就是从版图到晶圆（wafer）制造中间的一个过程，即光掩膜或称光罩(mask)制造。这一部分是流程衔接的关键部分，是流程中造价最高的一部分，也是限制最小线宽的瓶颈之一。
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